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什么是主动探针台

来源：http://www.tianjinchaoke.com/news_article?news_id=98时间：2022-03-30

什么是主动探针台


<a href=http://www.tianjinchaoke.com/news_article?news_id=98>探针台</a>


      主动探针台是一种用于晶圆针测范畴的工艺试验仪器。从装片方式上区别，分为全主动和半主动两种。首要用于晶圆测验，晶圆尺寸：4,, 6, 8 ，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，接连的可编程双向加载，快速单片晶圆主动上下片，防晶圆穿插保护 XYZ- 精度：±3微米。

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