高低温探针台在ji低温和高温无氧化测验中的运用

高低温探针台作业原理：
      手动探针台是广泛运用与半导体职业的归纳经济型测验仪器，首要用于半导体芯片的电参数检测。
      手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测验仪对芯片中的集成电路进行检测的。
高低温探针台运用规模：
      手动探针台首要用于对出产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测验。
高低温探针台ji低温测验:
      由于晶圆在低温大气环境测验时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测验失利。避免这些需求把真空腔内的水汽在测验前用泵抽走，而且坚持整个测验过程泵的工作。
高低温探针台高温无氧化测验：
      当晶圆加热至300℃,400℃,500℃乃至更高温度时，氧化现象会越来越明显，而且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性差错，物理和机械形变。避免这些需求把真空腔内的氧气在测验前用泵抽走，而且坚持整个测验过程泵的工作。
      晶圆测验过程中温度在低温和高温中改换，由于热胀冷缩现象，定位好的探针与器材电极间会有相对位移，这时需求针座的从头定位，CINDBEST针座坐落腔体外部。我们也能够挑选运用操作杆控制的自动化针座来调整探针的方位。
产品特点：
      外置4个定位针臂，预留2个，方便探针移动时，从头调整探针方位，载物Chuck 温度规模：5K-500K
ji限真空到10-10 torr，能够挑选射频配件做zui高67 GHz的射频测验，双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测验精度，针臂定位精度能够升级为0.7微米